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发明名称 INTERMITTENT TURN ON/OFF TEST APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0366143(A) 申请公布日期 1991.03.20
申请号 JP19890203212 申请日期 1989.08.03
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKAGI HISASHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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