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发明名称 METHOD FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0365589(A) 申请公布日期 1991.03.20
申请号 JP19890198008 申请日期 1989.08.01
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NAMIKAWA YASUO;TATSUMI MASAMI
分类号 C30B15/24;H01L21/208 主分类号 C30B15/24
代理机构 代理人
主权项
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