| 摘要 |
On provoque des réactions chimiques à la surface (14) d'un substrat (12) en faisant intervenir un réactant chimique et de l'énergie au moyen d'un faisceau compact (18, 18') de matière volatile. Des unités discrètes contenant un réactant volatile sont transformées en agglomérats ionisés, accélérés pour leur conférer une haute énergie, et sont projetés contre la surface (14). Les agglomérats se désintègrent, et l'espèce de réactant réagit à la surface (14), sous l'influence de l'énergie transférée par l'agglomérat accéléré. L'espèce agglomérée peut être le seul réactant, comme dans une réaction de décomposition, ou un apport de réactants supplémentaires peut s'effectuer de la surface (14) ou d'autres sources extérieures, comme dans un dépôt de film, une réaction de corrosion, ou une réaction de catalyse. |
