发明名称
摘要
申请公布号 JPH0311240(Y2) 申请公布日期 1991.03.19
申请号 JP19840088547U 申请日期 1984.06.14
申请人 发明人
分类号 C30B15/26;C30B29/40;H01L21/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/26 主分类号 C30B15/26
代理机构 代理人
主权项
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