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发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS FOR ORGANIC METAL
摘要
申请公布号 JPH0362921(A) 申请公布日期 1991.03.19
申请号 JP19890198965 申请日期 1989.07.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKAHASHI YASUHITO;OGURA MOTOTSUGU
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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