发明名称 PRODUCTION OF AMORPHOUS SILICON-BASED SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH0364466(A) 申请公布日期 1991.03.19
申请号 JP19890198565 申请日期 1989.07.31
申请人 KYOCERA CORP 发明人 HIGUCHI HISASHI;WATANABE ATSUSHI;OKAWA KAZUMASA;OKUBO DAIGORO
分类号 C23C16/24 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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