| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0364041(A) |
申请公布日期 |
1991.03.19 |
| 申请号 |
JP19890198076 |
申请日期 |
1989.08.01 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
NOGUCHI TAKASHI;SATO HIROSHI;NISHIYAMA KAZUO;KATO YASABURO |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/205;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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