发明名称 ELECTRON GUN TYPE FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0364455(A) 申请公布日期 1991.03.19
申请号 JP19890199613 申请日期 1989.07.31
申请人 NEC CORP 发明人 TANABE AKITO
分类号 C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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