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发明名称 INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0362938(A) 申请公布日期 1991.03.19
申请号 JP19890198466 申请日期 1989.07.31
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO EREKUTORON TOHOKU KK 发明人 KIKUCHI YOSHINARI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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