发明名称 Dram cell formed on an insulating layer having a buried semiconductor pillar structure and a manufacturing method thereof
摘要
申请公布号 US5001526(A) 申请公布日期 1991.03.19
申请号 US19880268185 申请日期 1988.11.07
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 GOTOU, HIROSHI
分类号 H01L27/10;H01L21/8242;H01L27/108;H01L27/12 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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