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发明名称
Dram cell formed on an insulating layer having a buried semiconductor pillar structure and a manufacturing method thereof
摘要
申请公布号
US5001526(A)
申请公布日期
1991.03.19
申请号
US19880268185
申请日期
1988.11.07
申请人
FUJITSU LIMITED
发明人
GOTOU, HIROSHI
分类号
H01L27/10;H01L21/8242;H01L27/108;H01L27/12
主分类号
H01L27/10
代理机构
代理人
主权项
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