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发明名称 PLASMA VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0361359(A) 申请公布日期 1991.03.18
申请号 JP19890196752 申请日期 1989.07.31
申请人 ANELVA CORP 发明人 HOSOKAWA NAOKICHI;YAMAZAKI TAKESHI;SEKIGUCHI ATSUSHI;TAKAGI SHINJI;ARAKAWA HIROSHI
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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