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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0361361(A) 申请公布日期 1991.03.18
申请号 JP19890194007 申请日期 1989.07.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TANAKA NOBUO
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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