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发明名称 VACUUM HEATING PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH0362515(A) 申请公布日期 1991.03.18
申请号 JP19890197748 申请日期 1989.07.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMADA YUICHIRO;MATSUSHITA YOSHISHIGE;KAWA HIDETOSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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