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经营范围
发明名称
VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0362514(A)
申请公布日期
1991.03.18
申请号
JP19890196570
申请日期
1989.07.31
申请人
BABCOCK HITACHI KK
发明人
TEZENI YUUTA;ITO KAZUHIRO;SASAKI SHINJI
分类号
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/205
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
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