发明名称 ULTRASONIC CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0360777(A) 申请公布日期 1991.03.15
申请号 JP19890194646 申请日期 1989.07.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAKA TAKETORA
分类号 B08B3/12;H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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