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发明名称 MANUFACTURE OF VERTICAL FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0360076(A) 申请公布日期 1991.03.15
申请号 JP19890194747 申请日期 1989.07.27
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 AKAMINE TADAO;AOKI KENJI
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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