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发明名称
VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0360027(A)
申请公布日期
1991.03.15
申请号
JP19890196177
申请日期
1989.07.27
申请人
SUMITOMO METAL IND LTD
发明人
TAKASUKA EIRYO
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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