发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0360040(A) 申请公布日期 1991.03.15
申请号 JP19890195323 申请日期 1989.07.27
申请人 TOYO ELECTRIC MFG CO LTD 发明人 UCHIYAMA TAKEO
分类号 H01L29/744;H01L21/332;H01L29/74 主分类号 H01L29/744
代理机构 代理人
主权项
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