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发明名称 PHOTOMASKENREPARATURVERFAHREN DURCH LASER INDUZIERTE POLYMERDEGRADATION.
摘要
申请公布号 AT61488(T) 申请公布日期 1991.03.15
申请号 AT19850303093T 申请日期 1985.05.01
申请人 GOULD INC. 发明人 YOUNG, PETER L.;OPRYSKO, MODEST M.;BERANEK, MARK W.
分类号 G03F1/00;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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