| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0360116(A) |
申请公布日期 |
1991.03.15 |
| 申请号 |
JP19890196207 |
申请日期 |
1989.07.28 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
KATAYAMA MASAYASU;TATE NAOTO |
| 分类号 |
H01L29/68;H01L21/205;H01L21/314;H01L21/336;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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