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发明名称 COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0360761(A) 申请公布日期 1991.03.15
申请号 JP19890196593 申请日期 1989.07.31
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 YAMAGAMI TAKASHI
分类号 B05C11/08;B05D1/40;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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