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发明名称 REACTEUR A PLASMA
摘要
申请公布号 FR2631199(B1) 申请公布日期 1991.03.15
申请号 FR19880006233 申请日期 1988.05.09
申请人 CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE 发明人 PHILIPPE LEPRINCE;PATRICK CHOLLET;SERGE SAADA
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;B01J19/24;B01J19/08 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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