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发明名称
FORMATION OF RESIST PATTERN FOR LIFT-OFF
摘要
申请公布号
JPH0360113(A)
申请公布日期
1991.03.15
申请号
JP19890193914
申请日期
1989.07.28
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
ISHII KIYOSHI;MATSUDA KOREHITO
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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