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发明名称
GRANULAR SILICON SUPPLY DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0360489(A)
申请公布日期
1991.03.15
申请号
JP19890193715
申请日期
1989.07.26
申请人
NKK CORP
发明人
MORI YOSHIO;ARAKI KENJI
分类号
C30B15/02;C30B29/06;H01L21/208
主分类号
C30B15/02
代理机构
代理人
主权项
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