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发明名称
POLISHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0360959(A)
申请公布日期
1991.03.15
申请号
JP19890193762
申请日期
1989.07.26
申请人
TDK CORP
发明人
YAMADA KENJI;SASAKI SEIKICHI
分类号
B24B7/06;B24B7/02;B24B41/06
主分类号
B24B7/06
代理机构
代理人
主权项
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