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发明名称 VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATS
摘要
申请公布号 DE3929695(A1) 申请公布日期 1991.03.14
申请号 DE19893929695 申请日期 1989.09.07
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 LATZ, RUDOLF, DR., 6054 RODGAU, DE;SCHERER, MICHAEL, DR., 6458 RODENBACH, DE
分类号 C23C14/06;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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