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经营范围
发明名称
FINE ADJUSTMENT Z-STAGE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0359494(A)
申请公布日期
1991.03.14
申请号
JP19890197542
申请日期
1989.07.28
申请人
NEC CORP
发明人
MAEDA TAKEHIKO
分类号
G12B5/00;H01J37/20;H01L21/66
主分类号
G12B5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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