发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG FEINER TEILCHEN.
摘要
申请公布号 DE3767953(D1) 申请公布日期 1991.03.14
申请号 DE19873767953 申请日期 1987.09.24
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SUGATA, HIROYUKI;SUGATA, MASAO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;KURIHARA, NORIKO, KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;DEN, TOHRU, TOKYO, JP;ANDO, KENJI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;KAMIYA, OSAMU, MACHIDA-SHI TOKYO, JP
分类号 C23C14/24;B01J4/00;B01J12/00;B01J12/02;B01J19/08;B22F1/00;B22F1/02;B22F9/12;C23C16/48;C23C16/54;(IPC1-7):C23C4/12;C23C24/00;B05B7/14;B05B9/00;B05D3/04 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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