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发明名称
HEAT EXPANSION COEFFICIENT MEASURING INSTRUMENT FOR THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH0356846(A)
申请公布日期
1991.03.12
申请号
JP19890191170
申请日期
1989.07.24
申请人
NEC CORP
发明人
TSUKAMOTO YUJI
分类号
G01N25/16
主分类号
G01N25/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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