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发明名称 Positioning mechanism
摘要
申请公布号 US4999506(A) 申请公布日期 1991.03.12
申请号 US19890302184 申请日期 1989.01.26
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MIZUSAWA, NOBUTOSHI;TANAKA, YUTAKA;EBINUMA, RYUICHI
分类号 G12B5/00;B23Q1/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
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