发明名称 BI-MOS SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0357266(A) 申请公布日期 1991.03.12
申请号 JP19890193274 申请日期 1989.07.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIGASHIYA KEIICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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