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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0357265(A) 申请公布日期 1991.03.12
申请号 JP19890191395 申请日期 1989.07.26
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIMODA KOICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/47;H01L29/732;H01L29/872 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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