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发明名称 Method and apparatus for measuring thickness of thin films
摘要
申请公布号 US4999014(A) 申请公布日期 1991.03.12
申请号 US19890347812 申请日期 1989.05.04
申请人 THERMA-WAVE, INC. 发明人 GOLD, NATHAN;WILLENBORG, DAVID L.;OPSAL, JON;ROSENCWAIG, ALLAN
分类号 G01B11/06;G01N21/21 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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