HEATER FOR VAPOR DEPOSITION,申请号JP19890191876-传众专利搜索

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发明名称	HEATER FOR VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号	JPH0356665(A)	申请公布日期	1991.03.12
申请号	JP19890191876	申请日期	1989.07.25
申请人	SONY CORP	发明人	OBINATA KENICHI;KATO HIROMASA;TATEWAKI MASAYUKI
分类号	C23C14/24	主分类号	C23C14/24
代理机构		代理人
主权项
地址

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