发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0357224(A) |
申请公布日期 |
1991.03.12 |
申请号 |
JP19890191438 |
申请日期 |
1989.07.26 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UCHIDA AKIHISA;NAKAJIMA SHINJI;HIGETA KEIICHI;YATSUDA YUJI |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/331;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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