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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0357223(A) 申请公布日期 1991.03.12
申请号 JP19890191502 申请日期 1989.07.26
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 NEMOTO KIYOKO;ARAKI ISAO
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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