发明名称 TESTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0356872(A) 申请公布日期 1991.03.12
申请号 JP19890193540 申请日期 1989.07.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NISHIMURA KAZUHIRO
分类号 G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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