发明名称 减少抗蚀薄膜上之小孔的方法
摘要 一种方法于电沈淀过程中利用一种不产生小孔的有机涂料涂在导电的基板上。小孔缺陷的消除是利用设备介面所连接的一个振动装置,此设备可于电沈淀过程中驱散附着在基板表面上的气泡。
申请公布号 TW153688 申请公布日期 1991.03.11
申请号 TW079107276 申请日期 1990.08.29
申请人 希普莱有限公司 发明人 何健伟;马丁.海瑞斯;理查.海瑞森;菲利普.小米勒
分类号 C25C5/00 主分类号 C25C5/00
代理机构 代理人 林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项 1﹒一种用来消除于电解沈殿过程中所产生的小孔缺陷的方法,其所包含的步骤有沈淀有机涂料物质于能导电的基板上和应用足够能量的连续振动力于已述的基板上以便去除在已述基板上所附着的气泡。2﹒根据申请专利范围第1项的方法,其中,所述的有机涂料物质是阴离子物质。3﹒根据申请专利范围第1项的方法,其中,所述的有机涂料物质是阳离子物质。4﹒根据申请专利范围第1项的方法,其中,所述的可导电的基板是一种铜积层塑胶基板。5﹒根据申请专利范围第1项的方法,其中,所述的可导电的基板是一种可弯曲的金属箔。6﹒根据申请专利范围第1项的方法,其中,所述的可导电的基板是一种坚硬的金属薄片。7﹒根据申请专利范围第1项的方法,其中,所述的振动力是靠空气压缩马达所产生。8﹒根据申请专利范围第1项的方法,其中,所述的振动力是靠电子马达所产生。9﹒根据申请专利范围第1项的方法,其中,所述足够能量的力是每分钟60次至30,000次的振动范围。10﹒根据申请专利范围第1项的方法,其中,所述足够能量的力其所述的频率及振幅是每分钟3,000次振动11﹒一种用在制造印刷电路板的改良方法,所包含的步骤有:a﹒提供电泳沈淀的感光剂涂料在可导电的基板上。b﹒像影像般的暴露所沈淀的涂层在化学线辐射源下并且用合适的显影溶剂处置已述暴露的抗光剂。c﹒在去除绝缘涂料之前暴露已述的抗光剂在蚀刻的过程。已述的改良包含沈淀已述的感光剂涂料当做不产生小孔的连续薄膜,其方法为应用足够能量的连续振动力在已述的基板上,而于已述电泳沈淀中所产生的气泡便被移动。12﹒一种用在电解沈淀有机涂料于基板上之装置,包含有:a﹒一个有机涂料物池,b﹒一个水槽用来装已述的涂料池,c﹒一片可导电的基板被浸入已述的涂料池,d﹒一个电位源连接在已述的基板上e﹒一电极和已述的涂料池接触并且在已述电位源的相反电极,和f﹒一种方法以选择性地应用足够的振动力作用在已述的基板上以便移动附着在基板表面的气泡。13﹒依据申请专利范围第12项的装置,其中,已述选择性地应用已述的振动力方法还包含有:a﹒一个阶梯横木连接在已述的基板b﹒夹子用来固定支持已述的阶梯横木,c﹒一种系铁得已述的夹子能附在其上并且可同时和振动源接触和d﹒在已述的水槽和已述的系铁间有一软垫以使水槽不振动。14﹒依据申请专利范围第13项的装置,其中,已述的振动源为一种电子马达。15﹒依据申请专利范围第13项的装置,其中,已述的振动源为一种空气压缩马达。16﹒依据申请专利范围第12项的装置,其中,已述的可导电基板的表面为金属物质。17﹒依据申请专利范围第12项的装置,其中,已述的可导电基板的表面为一种铜积层塑胶板。18﹒依据申请专利范围第12项的装置,其中,已述的有机涂料为阴离子物质。19﹒依据申请专利范围第12项的装置,其中,已述的有机涂料为阳离子的物质。20﹒依据申请专利范围第12项的装置,其中,已述的有机涂料为一种感光剂。21﹒一种经由申请专利范围第1项的方法所制造而成的制造物品。图示简单说明图1举例说明本发明如何实际应用。
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