发明名称 BONDING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0355861(A) 申请公布日期 1991.03.11
申请号 JP19890191975 申请日期 1989.07.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YOSHIDA MASAHARU;YAMAMOTO AKIRA
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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