发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0355830(A) |
申请公布日期 |
1991.03.11 |
申请号 |
JP19890191888 |
申请日期 |
1989.07.25 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YAMAGUCHI YASUO;NISHIMURA TADASHI;INOUE YASUAKI;SUGAHARA KAZUYUKI;IPPOSHI TAKASHI |
分类号 |
H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205 |
主分类号 |
H01L23/52 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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