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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0355833(A) 申请公布日期 1991.03.11
申请号 JP19890192278 申请日期 1989.07.24
申请人 SHARP CORP 发明人 SAITO SATOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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