发明名称 FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0355740(A) 申请公布日期 1991.03.11
申请号 JP19890189129 申请日期 1989.07.21
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 SUGIHARA KAZUO
分类号 H01J9/22 主分类号 H01J9/22
代理机构 代理人
主权项
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