发明名称 MICRO DISPLACEMENT DRIVING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0354611(A) 申请公布日期 1991.03.08
申请号 JP19890189969 申请日期 1989.07.21
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 NIWA TAKESHI
分类号 G05D3/00;G05D3/12 主分类号 G05D3/00
代理机构 代理人
主权项
地址