| 发明名称 |
HEAT INSULATING MATERIAL FOR PULLING DEVICE OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0354189(A) |
申请公布日期 |
1991.03.08 |
| 申请号 |
JP19890188308 |
申请日期 |
1989.07.20 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
ITO KAZUO;MATSUO HIDEYASU;IMURA KOICHI |
| 分类号 |
C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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