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发明名称 DOPING OF IMPURITY TO POLYCRYSTALLINE SILICON FILM FOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0354834(A) 申请公布日期 1991.03.08
申请号 JP19890189853 申请日期 1989.07.21
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SUGAHARA NORIYUKI
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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