发明名称 MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0354819(A) 申请公布日期 1991.03.08
申请号 JP19890189869 申请日期 1989.07.21
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SHIMABUKURO HIROSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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