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经营范围
发明名称
FEEDER OF ORGANIC AND METALLIC GAS
摘要
申请公布号
JPH0354820(A)
申请公布日期
1991.03.08
申请号
JP19890191095
申请日期
1989.07.24
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
ISHIKAWA YOSHIHIRO
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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