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发明名称 PLASMA SOURCE OF CHARGED PARTICLES
摘要
申请公布号 SU1633467(A1) 申请公布日期 1991.03.07
申请号 SU19894654286 申请日期 1989.02.23
申请人 MO INZHENERNO-FIZICHESKIJ INSTITUT 发明人 LOBANOV NIKOLAJ R,SU
分类号 H01J1/30;H01J3/00 主分类号 H01J1/30
代理机构 代理人
主权项
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