| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR VAPOR DEPOSITION TO PRODUCE THIN FILM OF OXIDE SUPERCONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0353061(A) |
申请公布日期 |
1991.03.07 |
| 申请号 |
JP19890183745 |
申请日期 |
1989.07.18 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;ANELVA CORP |
发明人 |
IHARA HIDEO;TERADA NORIO;JO MASATOSHI;HIRATA KAZUO |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C23C14/08;C23C14/24;H01B12/06;H01B13/00 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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