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发明名称 VERFAHREN UND ZUSAMMENSETZUNG ZUR RESOLUTIONSVERBESSERUNG FUER MIKROELEKTRONENSCHALTUNGEN.
摘要
申请公布号 DE3677236(D1) 申请公布日期 1991.03.07
申请号 DE19863677236 申请日期 1986.02.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 FREDERICKS, EDWARD CARMINE, MANASSAS, VA 22110, US;VIA, GIORGIO GIULIO, MCLEAN, VA, US
分类号 H01L21/3205;G03F7/09;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/312;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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